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MicroProf®100
MicroProf®100は、小型のテーブルトップ型の測定装置でありながら、4つのセンサーの取付けが可能なマルチセンサーシステムを採用しています。 その為、表面形状のみならず、膜厚測定等も1台で行う事が可能です。また、オプションで上下2つのセンサーによるTTV測定への対応も行えます。
MicroProf® 100の特徴として
- １. 小型でテーブルトップのシンプルデザイン採用
- ２. 3D表面形状測定のみならず、膜厚測定も可能（マルチセンサーシステム）
- ３. ナノレベルでの測定への対応
- ４. 上下2つのセンサーによるTTV測定へもオプションで対応可能
- ５. モーター駆動XYステージ搭載
-
膜応力による
ウェーハ形状 -
ホールパターン形状