製品情報
MFE
MFEは、パターン等が形成されたウェーハやフォトマスク、MEMSデバイスの製造における検査に最適です。装置内は高いクリーン度を維持しており、製造ラインにて歩留りや工程管理の為の測定が容易に行えます。こちらもマルチセンサーシステムに対応しているため、パターン等の寸法測定を行いながら、表面形状や膜厚の測定も行えます。通信に関しても、SECSⅡ / GEM インターフェイスに対応しております。
MFEの特徴として
- 完全密閉型 全自動測定装置
- クラス1の装置内クリーン度維持
- カセット to カセットハンドリング
- ウェーハアライメント機構内臓
- OCR読取り機対応（オプション）
- 200mm、もしくは300mmウェーハ対応可能