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スパッタリングターゲット
弊社は半導体、FPD、光デバイス、記録メディア、硬質皮膜及びエネルギー関連等の各種薄膜材料向けのスパッタリングターゲットを提供いたします。
国内外の豊富なネットワークを駆使し、お客様のニーズに最適な製品を研究開発用試作品から量産品までご提案いたします。
取り扱い製品一覧
取り扱いターゲット一覧
| メタル (Metal) |
Al・C・Cr・Cu・Ge・Co・Au・Hf・In・Fe・Pd・Mg・Mo・Ni・Nb・Pt |
|---|---|
| Se・Si（Multi & Mono）・Ag・Ta・Ti・Sn・W・Zn・Zr・V・etc | |
| 酸化物 (Oxide) |
Al2O3・CeO2・Cr2O3・CuO・Ga2O3・GeO2・In2O3・La2O3 |
| MgO・MnO2・Nb2O3・SiO2・Ta2O5・TiO2・WO3・ZnO・etc | |
| 透明導電膜 (TCO) |
ITO（In2O3：SnO2）・AZO（ZnO：Al2O3） |
| GZO（ZnO：Ga2O3）・IGZO（In：Ga：ZnO） | |
| その他 (Rest of Targets) |
Carbides（炭化物）・Florides（フッ化物）・Nitraides（窒化物） |
| Alloy（合金）・AgAlloy・AlAlloy・CoAlloy・CrAlloy・NiAlloy・TiAlloy・etc |
＊上記以外の材料も対応可能です。ご希望の仕様（材料、純度、サイズ、等）を指定ください。
- ボンディング加工
各種ターゲット材に最適なボンディングを行います。また使用済みターゲットの回収から再ボンディングまで対応いたします。
- バッキングプレート製作
半導体・液晶製造装置向け真空部品製造において培った精密加工技術により各種バッキングプレートの製作いたします。
- インジウムインゴット販売
国内外の豊富なネットワークを駆使し、高品質低価格なボンディング用インジウムインゴットを販売いたします。また回収や精製も行います。
Siターゲット
弊社は半導体産業及び太陽電池産業向けのSiテストウェーハ事業やSiリサイクル事業を通じて豊富なシリコン材料の取り扱いがございます。
単・多結晶シリコン材料をお客様の要望に応じた純度、抵抗値、サイズ及び形状に加工してご提供いたします。
Siターゲット
透明導電膜として急激に需要が拡大しているITOターゲット。しかし主成分であるインジウムは希少元素であり、その価格高騰及び供給不安が問題になっている。
そのため開発が急務になっているITO代替材料としてZnO系（GZO、AZO ）ターゲットをご提案いたします。
GZO、AZOターゲット（透明導電膜用）
蒸着材料の継ぎ足しが可能であり、蒸着材料に適しております。また、薄膜の強度や耐久性に悪影響を及ぼす蒸着材からの放出ガスを低レベルに抑えた脱ガス品もあります。
| 用途 | 透明導電膜、TFT-LCD、OLED、薄膜ソーラー |
|---|---|
| 純度 | 3N |
| 密度 | 5.5g/cm3 |
| 最大長さ | 550mm |
| 最大幅 | 300mm |
| 最大厚み | 12あるいは20mm |
Crターゲット
| 用途 | TFT-LCD、OLED、PDP、カラーフィルター、フォートマスク、ハードコーティング |
|---|---|
| 純度 | 3N、3N5、4N、4N5 |
| 最大長さ | 2500mm |
| 最大幅 | 1500mm |
| 最大厚み | 50mm |
| 精度 | 0.5mm |
| 表面粗さ | Grinded Ra 1.6um |
AIターゲット
| 用途 | 太陽電池・有機EL・半導体・記録メディア |
|---|---|
| 純度 | 5N5まで対応可 |
＊U,Th不純物量＜1ppbにコントロールされた材料の取り扱いもございます。
Tiターゲット
| 用途 | 半導体・光学ガラス・硬質皮膜他 |
|---|---|
| 純度 | 5N5まで対応可 |
