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蒸着材料
弊社では光学用薄膜、ディスプレイ関連成膜等、様々な用途に適した、蒸着材・蒸着源を提供しています。
国内外問わず、幅広いネットワークを駆使し、多品種、高品質な製品の提供、お客様の仕様に合わせた製品開発等、柔軟に対応いたします。
真空蒸着材料
ペレット系材料
取り扱いが容易な各種形状のペレットを用意しており、お使いのハースライナーに合ったものが選定可能です。電子銃などの強力なエネルギーにも耐え得る高耐熱衝撃性材料も網羅いたしております。
粒状系材料
蒸着材料の継ぎ足しが可能であり、蒸着材料に適しております。また、薄膜の強度や耐久性に悪影響を及ぼす蒸着材からの放出ガスを低レベルに抑えた脱ガス品もあります。
その他（機能性薄膜材料）
撥水性や防汚性等、光学的特性以外の特殊な機能を持つ有機薄膜を作製するための蒸着材料。従来の溶剤を用いた塗布プロセスとは異なり真空蒸着により被膜を形成する為、反射防止膜形成から連続して撥水・防汚処理を行う事が可能です。
抵抗加熱蒸着用ボート
【製品例】
| 長さ | 35〜195mm（通常100mm） |
|---|---|
| 幅 | 6.0〜30mm |
| 板厚 | 0.1〜0.5mm |
| 深さ | 1.5〜2.0mm |
| プレス部 | 40〜50mm |
| 材質 | W, Mo, Ta 他 |
| ※通常プレス部はフラット型ですがV字形も対応可能です。 ※特殊形状もお問い合わせください。 |
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BN-TiBセラミックボート
【セラミックボート仕様】
| 抵抗値 | 300-4000μΩ・㎝ |
|---|---|
| 密度 | 2.8~3.2 g/cm3 |
| 耐熱温度 | ≦1895℃ |
| 熱伝導率 | ＞100/40W/mK |
| 熱膨張率(20-1450℃) | (4-6)10-6k |
| 曲げ強度 | ＞150mpa |
| 梱包状態 | 真空パック |
【抵抗値（μΩ･cm）】
| Type 1 | 800 - 1200 |
|---|---|
| Type 2 | 1200 - 1600 |
| Type 3 | 1600 – 2000 |
| Type 4 | 2000 – 2400 |
| Type 5 | 2400 – 2800 |
| Type 6 | 2800 – 3200 |
| Type 7 | 3200 – 3600 |
| Type 8 | 3600 - 4000 |
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※外形寸法、キャビティ寸法、深さ、ご希望抵抗値をご指定ください。 ※ハースライナーの形状も加工可能です。 |
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Alの蒸着や、Au、Zｎ等低融点の材料を成膜する際に適しています。
食品用包装フィルム向け、フィルムコンデンサ（キャパシタ）向けに連続蒸着成膜時に使用されるセラミック複合蒸着源です。
抵抗加熱蒸着用フィラメント
【製品例】
| 線径 | 0.5〜1.0mm |
|---|---|
| 形状 | ストレート型／ヘリカルコイル型／バスケット型 |
| 材質 | W, Mo, Ta 他 |
| ※アルミナコーティング仕様も対応可能 ※その他オーダー品もご相談ください。 |
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EB蒸着用 消耗パーツ
【EBフィラメント】
| ワイヤー径 | φ0.55、φ0.65、φ0.80 |
|---|---|
| 材質 | W |
| ※その他形状はお問い合わせください。 | |
【ハースライナー】
| 材質 | Cu, W, Mo, Ta 他 |
|---|---|
| ※右図参照頂き、形状、寸法などご指定ください。 | |
